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  真空室規(guī)格　　　mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  極限壓力　　　　Pa

1×10^-3

  工作壓力　　　　Pa

2×10^-2

  恢復(fù)真空時(shí)間　　min

≤10 （從大氣至2×10^-2Pa）

  壓升率　　　　　Pa/h

≤0.3

  離子轟擊源　　　KVA

4

4

12

20

  蒸發(fā)源Ⅰ　　　　KVA

15

20

25

40

  蒸發(fā)源Ⅱ　　　　KVA

15

20

27/18

45

  蒸鍍材料

Al和SiO₂/MgO₂

  工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式

公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)（無級調(diào)速）

  工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)

6

10

  控制方式

PLC

PLC/PLC+計(jì)算機(jī)

  冷卻水量　　　　m³/h

5

5

7

9

  總功率　  KW　　　　　

～60

～85

～120

～200

  真空室規(guī)格　　　mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  極限壓力　　　　Pa

1×10^-3

  工作壓力　　　　Pa

2×10^-2

  恢復(fù)真空時(shí)間　　min

≤10 （從大氣至2×10^-2Pa）

  壓升率　　　　　Pa/h

≤0.3

  離子轟擊源　　　KVA

4

4

12

20

  蒸發(fā)源Ⅰ　　　　KVA

15

20

25

40

  蒸發(fā)源Ⅱ　　　　KVA

15

20

27/18

45

  蒸鍍材料

Al和SiO₂/MgO₂

  工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式

公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)（無級調(diào)速）

  工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)

6

10

  控制方式

PLC

PLC/PLC+計(jì)算機(jī)

  冷卻水量　　　　m³/h

5

5

7

9

  總功率　  KW　　　　　

～60

～85

～120

～200